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商品訊息描述: 享好禮日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌，提升現場即戰力。
暢銷商品◎作者於1989年，以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年，以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務，讓你一讀即懂。
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非等向性蝕刻是如何實現？為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr，而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體？為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP（電感耦合式電漿）之類的高密度電漿，而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機？
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從乾蝕刻技術的基礎講到應用，讓初學者容易理解與整理；對於已有程度、經驗的工程師而言，讀之更加能理解、掌握乾蝕刻技術的全貌。
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商品訊息簡述:
作者： 野尻一男
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- 出版社：白象文化
新功能介紹 - 出版日期：2015/03/01
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下面附上一則新聞讓大家了解時事
股王領跌台股收漲5.85點 三大法人賣超57.79億 | 股市要聞 | 股市 | 聯合新聞網
台股示意圖。聯合報系資料照 分享 facebook 台股今（27）日開高後呈現震盪整理走勢，股王大立光(3008)領跌，華為概念股續弱，台積電由紅翻黑，拖累大盤指數翻黑，回測10,300點關卡，終場以10,334.13點作收，上漲5.85點，成交量918.84億元；三大法人賣超57.79億元，外資持續賣超，統計已連續賣超14天，合計賣超1,270.84億元。統計三大法人買賣超情況，外資及陸資（不含外資自營商）賣超46.82億元，投信賣超2.11億元，自營商賣超（合計）8.85億元，其中自營商（自行買賣）賣超6.25億元，自營商（避險）賣超2.6億元。. } }); } 台股今日以10,344.18點上漲開暢銷排行網友開箱介紹出，一度拉升到10,365.44點，以金融股及傳產股撐盤，股王大立光走弱，終場收3,690元，跌幅2.25%，台積電由紅翻黑，終場收231元，跌幅0.86%，鴻海則以平盤71.4元作收，指數一度下滑至10,305.28點，搶購限時商品終場收抗漲特價商品小紅，漲幅0.06%，收在10,限量不等人的超人氣產品334.13點。
車款付現再串通同夥行搶 斗六警逮2嫌
（中央社記者葉子綱雲林縣21日電）斗六警方今天宣布偵破昨晚斗六市車行發生的搶案。事發3小時警方即迅速鎖定在場付車款的林嫌，在偵訊時突破其心防供稱主導犯案。警方再循線逮捕行搶陳嫌，並追緝在逃2嫌。
雲林縣斗六市文化路一家中古汽車商行，昨天晚間6時左右發生搶案，警方獲報前往勘查。
警方指出，林嫌以新台幣59萬元向中古車行購車，卻規避與張姓車商用銀行匯繳車款，刻意攜帶現金到車行交易，待車商收款後，林嫌佯裝上廁所，這時突然闖入陳嫌等3人，用辣椒水噴向車商眼睛，讓人無法反抗，接著下手行搶。
歹徒行搶時，隔壁民眾看到趕來解圍，在拉扯之間，扯破裝錢紙包，鈔票被撒了一地，嫌犯搶走新台幣29萬元後逃逸。
警方獲報趕往現場，在偵訊買車付車款的林嫌時，發現他言詞閃爍相當可疑，在事發3小時後確定林嫌涉嫌重大，到了午夜12時左右，突破其心防，林嫌供稱全案由他主導，夥同其他嫌犯行搶。
警方根據林嫌供詞及路口監視器，立即循線前往彰化、南投及台中等地追緝，於今天凌晨2時30分左右在台中市查獲行搶的陳嫌到案，另有2名犯嫌在逃。警方表示，以加重強盜罪嫌將到案林、陳2嫌移送法辦，追緝在逃2嫌，並擴大清查共犯及有無涉及其他刑案。
雲林縣長張麗善、副縣長謝淑亞、斗六市長林聖爵、斗六警友會等今天上午前往頒發破案獎金及茶葉，張麗善宣示對各類犯案「零容忍」，呼籲警民合作打擊犯罪，警方將發揮整合力量迅速破案，保障百姓生命財產安全。（編輯：吳佳穎）1080221
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